Volledig scherm
© SH Media

Vooruitgang ASML met EUV goed ontvangen

VELDHOVEN - Tijdens de International Workshop on EUV Lithography in Berkeley in de VS is vorige week een nieuwe stap voorwaards goed ontvangen door de aanwezige experts.

Een spreker van ASML legde uit dat een EUV-machine die bij een klant wordt geïnstalleerd bij een test een snelheid van 85 chipschijven, met ieder honderden chips, per uur haalt.

De nieuwste chipmachines van ASML werken met EUV (Extreem Ultraviolet) licht, waardoor nog kleinere details op chips het aantal functies nog groter kan maken. Dit licht is zeer moeilijk op te wekken en machines zijn tot nog toe uitgerust met lichtbronnen die 80 Watt van dit licht leveren. De machine die nu wordt geïnstalleerd is een van de eerste met een 125 Watt lichtbron. Hierdoor kon de snelheid worden opgevoerd van 75 chipschijven per uur naar 85. Volgens deskundigen is het mogelijk om die snelheid bij 125 Watt nog verder op te voeren.

Dat wil niet automatisch zeggen dat ook de snelheid van 1500 chipschijven per dag, nodig om de machine van 80- tot 100 miljoen dollar rendabel te laten werken, kan worden gehaald. Tot nog toe was een snelheid van 1350 chipschijven per dag het maximum. Een woordvoerder van ASML zegt dat geen simpele vertaling naar de dagproductie kan worden gemaakt. "Wij praten alleen over in de praktijk behaalde resultaten."