VELDHOVEN – De Amerikaanse producent van industriële lichtbronnen Cymer heeft al een order van 200 miljoen dollar ontvangen voor de levering van meerdere EUV-lichtbronnen.
Dat zegt Cymer-topman Bob Akins op de website Optics.org . Deze lichtbronnen worden gebruikt in de nieuwste generatie ASML EUV machines bestemd voor massaproductie, waarvan er tien zijn besteld die vanaf midden volgend jaar geleverd worden.
Behalve Cymer zijn ook het Japanse Gigaphoton en het Duitse Xtreme (ex Philips) in de race voor het leveren van EUV-lichtbronnen voor ASML. "Eric Meurice van ASML was duidelijk in zijn uitspraken over zijn beleid van drie toeleveranciers om risico's te spreiden", zei Akins. "Om concurrentieredenen hebben we erin toegestemd het aantal units en ons marktaandeel niet vrij te geven. Maar ik wil wel kwijt dat we blij zijn met de order en de leveringen zijn een ondersteuning van de planning van ASML."
Bij levering van de lichtbron zal deze 100 Watt EUV-licht leveren en later zullen ze een upgrade krijgen naar 250 Watt. Pas dan zal de machine op volle toeren kunnen draaien en 125 chipschijven per uur kunnen belichten.
© Eindhovens Dagblad 2012, op dit artikel rust copyright.

Niet beschikbaar!


Sorteer reacties




















