Zorg om vertraging bij EUV

Een van de lichtbronnen voor lithografiemachines van Cymer.

Tijdens de Flash Memory Summit, een conferentie die deze week in Santa Clara in California werd gehouden, sprak Yoram Cedar zijn zorg uit. Volgens de technologisch topman van geheugenproducent SanDisk, zal een vertraging van de levering van deze machines, die ASML ontwikkelt, de groei van flashgeheugens ernstig vertragen. Dit meldt de website EE Times, die bij de conferentie aanwezig was.

Volgens Cedar zijn geheugenproducenten met de huidige generatie chipmachines nog even in staat om de geheugens op chips te stapelen. Cedar verwacht zo chips met een capaciteit van 64 en ook nog 128 Gigabit te kunnen maken. Maar later zal zonder EUV-technologie die ontwikkeling stoppen. Hij zegt niet alleen te staan in zijn zorgen. "Veel mensen in de semiconductorindustrie zijn erg bezorgd over EUV. Niet alleen over zijn beschikbaarheid, maar ook over zijn kosten. Deze dingen gaan vele miljoenen dollars kosten." De EUV lithografiemachines van ASML kosten 65 miljoen euro.

ASML is volop bezig met de productie van lithografiemachines die werken met EUV-technologie. Het Veldhovense bedrijf heeft er drie geleverd en drie andere zijn bijna klaar om te leveren. Een van de geleverde machines staat bij het technologisch instituut Imec in Leuven, België. Deze machine heeft al succesvol chips belicht, maar dit ging met een snelheid van zes chipschijven per uur. De machine is echter geconstrueerd om 120 of meer chipschijven per uur te belichten. Die snelheid wordt nog niet bereikt omdat de lichtbron van de machine onvoldoende licht geeft.

Intussen heeft ASML al tien bestellingen van EUV-machines binnen die worden ingezet in de massaproductie. Deze machines worden in de loop van volgend jaar geleverd aan onder meer Intel, Samsung en TSMC. Verwacht wordt echter dat lichtbronproducenten Ushio/ Xtreme in Aken en Cymer in de VS pas begin volgend jaar een nieuwe, sterkere lichtbron hebben ontwikkeld. Dan nog zal deze de snelheid van de machine niet verder opvoeren dan 60 chipschijven per uur. Bij de ontwikkelaars leeft de hoop dat weer een jaar verder de lichtbron voldoende vermogen zal hebben om de machine op volle sterkte te laten werken.

Gisteren meldde het Japanse Gigaphoton zich als producent van een lichtbron. Eerder werd aangenomen dat deze was afgehaakt in de race naar een goede EUV-lichtbron. Donderdag meldde het bedrijf echter goede vorderingen te maken.

>>Lees in het techblog meer over de EUV lichtbron

Meer Economie

• di 22-05 Resultaten Vion staan onder druk
• di 22-05 Philips sluit meer snijden niet uit
• di 22-05 Overaanbod bedrijventerreinen in regio
• di 22-05 Eindhovenaren ontwerpen 'aaibare lamp'
• di 22-05 Heijmans verkoopt Bestcon prefabbeton
• ma 21-05 'Lente-akkoord rampzalig voor bouw'
• zo 20-05 D66: werkweek langer, minder loonbelasting
• zo 20-05 Rutte houdt vast aan terugdringen tekort
• za 19-05 G8: doel is groei en eurozone mét Griekenland
• za 19-05 Opnieuw twee winkels weg uit Heuvel Galerie

Reageren

Naam: E-mail: Reactie:

Forumregels

De website van het ED is een platform voor discussie. Lezers wordt de gelegenheid geboden om in forums te reageren op geselecteerde artikelen, commentaren en columns. Scherpe en kritische reacties dragen bij aan het debat. Om de discussie in goede banen te leiden, gelden de volgende spelregels:

1. Elke reactie wordt vooraf door de redactie beoordeeld. De redactie heeft het recht om zonder verdere toelichting bijdragen te weigeren, te bewerken of in te korten.

2. Reacties moeten kort en bondig zijn (maximaal 250 woorden), leesbaar en begrijpelijk zijn en inhoudelijk betrekking hebben op het onderwerp van het betreffende artikel.

3. Voor de discussie gelden elementaire fatsoensnormen. Schuttingtaal en scheldwoorden zijn niet toegestaan.

4. Reacties die beledigend of discriminerend zijn, (oncontroleerbare) beschuldigingen, bedreigingen bevatten of oproepen tot haat of geweld worden niet geplaatst.

5. Reacties mogen geen privégegevens van derden bevatten.

6. Reacties die anoniem zijn of onder een valse naam worden ingestuurd, kunnen worden geweigerd.

7. Reacties mogen geen auteursrechten overtreden en geen commerciële boodschappen bevatten.

8. Het ED staat open voor kritiek – zowel positief als negatief – op de krant en op haar redacteuren. Correcties en aanvullingen op artikelen zijn welkom. Inhoudsloze kritiek wordt niet geplaatst.

9. Het IP-adres vanwaar wordt gereageerd wordt altijd vastgelegd.

10. Reacties, of citaten daaruit, mogen worden gebruikt op alle publicaties van het ED (websites, krant, sociale media, enz.).

De redactie is niet kinderachtig. Laat u dus niet ontmoedigen door de spelregels. Ze zijn uitsluitend bedoeld om een goede discussie te bevorderen. De redactie gaat zorgvuldig te werk. Mocht u desondanks reacties op de website ontdekken die in strijd zijn met de spelregels of anderszins niet door de beugel kunnen, laat ons dat dan weten via e-mail.