EINDHOVEN - ASML haalt de lichtbron voor zijn EUV-machines bij onder meer Cymer in de VS. Cymer op zijn beurt haalt modules van die lichtbron bij toeleveranciers. De Eindhovense vestiging van Mecal is daar een van.
Sterker nog, Mecal is lievelingsleverancier van het Amerikaanse bedrijf. Dr. ir. Johan van Seggelen van Mecal gaat volgende week in San Diego de Supplier Excellence Award in ontvangst nemen. "Het is voor ons fantastisch dat we daar nu zo'n vaste voet aan de grond hebben. Het geeft ons de kans om het werk voor hen uit te breiden en dan liefst dichter bij het hart van de lichtbron."
Van Seggelen wil niet verder in detail treden, want de werking van de lichtbron is zeer gevoelige informatie. Cymer is in een felle concurrentiestrijd verwikkeld met Gigaphoton in Japan en Xtreme in Aken (D). Alle drie maken ze EUV lichtbronnen, het gaat erom wie op tijd een dergelijke complexe machine heeft met voldoende vermogen. Pas dan kan de nieuwste technologie van ASML op volle kracht werken.
"Wij werken niet alleen voor Cymer, maar ook voor de andere twee", zegt Van Seggelen. "Dat is voor ons een spreiding van het risico, want het is logisch te verwachten dat er één als winnaar uit de strijd tevoorschijn komt."
Mecal, twintig jaar geleden ontstaan uit de Universiteit Twente, berekent en ontwikkelt onder andere trillingsvrije constructies. Dat doet het bedrijf voor ASML, maar ook ten behoeve van windturbines en van trillingvrije tafels die ze zelf maken. Voor Cymer heeft Mecal een zware stellage van twee meter hoog gebouwd, met een spiegel die absoluut trillingvrij een hoog vermogende laserstraal moet afbuigen.
Van Seggelen praat erover alsof het een avontuur was. "Vorig jaar augustus kwam Cymer met de vraag. De opdracht moest binnen drie maanden uitgevoerd worden. We zijn eerst naar het verre oosten gegaan om de trillingen te meten op de vloer waar de stelling moest komen. Op basis hiervan hebben we hem ontworpen. Wekelijks hadden we contact met de ingenieurs van Cymer en dat ging er op zijn Amerikaans aan toe. Ze deden uitspraken waardoor je van je stoel viel. Heel direct en dat vroeg erom ook heel direct terug te zijn. Je moest oppassen geen toezeggingen te doen die je niet kunt waarmaken. Of welke een risico inhouden dat het systeem straks door jouw schuld stil komt te staan. Met kerstmis hebben we nog een go-moment gehad voor een volgende fase. Het eindigde na bijna vier maanden met de levering en installering van de spiegelstellage. We hebben daarmee een heel goede beurt gemaakt."
>> Lees meer over de spiegelstellage van Mecal op: ed.nl/techblog
© Eindhovens Dagblad 2012, op dit artikel rust copyright.

Niet beschikbaar!























