ASML rekt gebruik machines

De NXT:1950i, laserlicht gaat via de reticle (dia) bovenin, door de lenzenkolom naar de chipschijf onder.

Met het nieuwe product kunnen chipmakers de bestaande NXT-machines van ASML efficiënter inzetten en tegelijk de verkleining van de details op de chip voortzetten. Met de nieuwe software zet ASML opnieuw een stap waarbij het verkleinen van de details op chips kan doorgaan met de huidige lijn NXT-machines. Die verkleining dreigde in het nauw te komen omdat de ontwikkeling van de nieuwe generatie EUV-machines vertraging oploopt.

Brion werd in 2006 door ASML overgenomen. In 2009 bracht het Veldhovense bedrijf al de zogenaamde holistische lithografie van Brion op de markt. Dit is een set van hard- en software die kan worden gebruikt om de bestaande machines op te waarderen. Om de kwaliteit van het gebruikte licht te verbeteren heeft het bedrijf bijvoorbeeld een spiegel uitgebracht die verdeeld is in honderden kleine spiegeltjes die apart van elkaar kunnen worden gericht. Brion heeft voor software gezorgd die deze spiegeltjes aanstuurt en de lichtkwaliteit zodanig verbetert dat exactere beelden zijn te maken. Brion maakt oorspronkelijk simulatiesoftware waarmee de werking van machines virtueel kan worden getest. Deze software dient bij holisitische lithografie als basis om de werking van de machines nauwgezet te volgen met behulp van sensoren en waar nodig bij te sturen. Het doel is bovendien de toleranties binnen een chipontwerp zo groot mogelijk te maken en zo ervoor te zorgen dat kleine afwijkingen in de productie niet tot afgekeurde chips leiden.

De aanvulling die Brion nu als nieuw product heeft geleverd is software die ervoor zorgt dat het patroon, een dia met daarop in het groot de afbeelding van de chip, wordt aangepast. Dankzij die aanpassingen zijn met de huidige NXT machines kleinere details mogelijk van tussen de 20 en 30 nanometer (miljoenste millimeter). Computergeheugenchipfabrikant Hynix heeft de nieuwe software uitgeprobeerd en rapporteert dat het deze heeft ingezet voor hun meest geavanceerde chips.

Financieel topman Peter Wennink van ASML meldde eerder dat er volgend jaar een nieuw type NXT machine uitkomt. De snelheid van deze machine wordt flink wat groter dan de 200 chipschijven per uur die nu worden gehaald. Hierdoor wordt het economischer om chips per laag niet een, maar twee, drie of vier keer te belichten. Ook dit heeft tot resultaat dat details op de chips kleiner kunnen worden gevormd. ASML wil hiermee de extra tijd overbruggen die nodig is om de EUV-generatie chipmachines te vervolmaken.

Meer Economie

• 13:02 Management koopt B&G Hekwerk
• 11:37 Mibra kantoormeubelen failliet
• 13:59 Helmond aantrekkelijker ondanks crisis
• di 22-05 Resultaten Vion staan onder druk
• di 22-05 Philips sluit meer snijden niet uit
• di 22-05 Overaanbod bedrijventerreinen in regio
• di 22-05 Eindhovenaren ontwerpen 'aaibare lamp'
• di 22-05 Heijmans verkoopt Bestcon prefabbeton
• ma 21-05 'Lente-akkoord rampzalig voor bouw'
• zo 20-05 D66: werkweek langer, minder loonbelasting

Reageren

Naam: E-mail: Reactie:

Forumregels

De website van het ED is een platform voor discussie. Lezers wordt de gelegenheid geboden om in forums te reageren op geselecteerde artikelen, commentaren en columns. Scherpe en kritische reacties dragen bij aan het debat. Om de discussie in goede banen te leiden, gelden de volgende spelregels:

1. Elke reactie wordt vooraf door de redactie beoordeeld. De redactie heeft het recht om zonder verdere toelichting bijdragen te weigeren, te bewerken of in te korten.

2. Reacties moeten kort en bondig zijn (maximaal 250 woorden), leesbaar en begrijpelijk zijn en inhoudelijk betrekking hebben op het onderwerp van het betreffende artikel.

3. Voor de discussie gelden elementaire fatsoensnormen. Schuttingtaal en scheldwoorden zijn niet toegestaan.

4. Reacties die beledigend of discriminerend zijn, (oncontroleerbare) beschuldigingen, bedreigingen bevatten of oproepen tot haat of geweld worden niet geplaatst.

5. Reacties mogen geen privégegevens van derden bevatten.

6. Reacties die anoniem zijn of onder een valse naam worden ingestuurd, kunnen worden geweigerd.

7. Reacties mogen geen auteursrechten overtreden en geen commerciële boodschappen bevatten.

8. Het ED staat open voor kritiek – zowel positief als negatief – op de krant en op haar redacteuren. Correcties en aanvullingen op artikelen zijn welkom. Inhoudsloze kritiek wordt niet geplaatst.

9. Het IP-adres vanwaar wordt gereageerd wordt altijd vastgelegd.

10. Reacties, of citaten daaruit, mogen worden gebruikt op alle publicaties van het ED (websites, krant, sociale media, enz.).

De redactie is niet kinderachtig. Laat u dus niet ontmoedigen door de spelregels. Ze zijn uitsluitend bedoeld om een goede discussie te bevorderen. De redactie gaat zorgvuldig te werk. Mocht u desondanks reacties op de website ontdekken die in strijd zijn met de spelregels of anderszins niet door de beugel kunnen, laat ons dat dan weten via e-mail.