ASML en Imec gaan weer langjarige verbintenis voor research aan

De EUV-machine van ASML in de cleanroom bij Imec.

De overeenkomst houdt onder meer in dat ASML gebruik kan maken van de onderzoeksresultaten die Imec doet samen met chipproducenten. In ruil krijgt Imec de beschikking over de nieuwste machines en modellen die nog in ontwikkeling zijn.

Zo is afgesproken dat nog dit jaar een gloednieuwe NXT:1950i wordt gestationeerd. Deze productiemachine werkt volgens bestaande technologie, maar moet verbeterd worden. Onder meer moeten de snelheid en nauwkeurigheid verder worden verbeterd. Dit kan met hulp van nieuwe onderdelen en software.

Ook is afgesproken dat ASML volgend jaar een NXE:3300B levert. Dit is een productiemachine volgens de nieuwste EUV-technologie. Onderzoekers van Imec en de aangesloten chipfabrikanten gaan productieproeven doen op deze machine. Dit is al de derde EUV machine die ASML gaat leveren aan Imec. In 2006 werd een van de eerste drie experimentele machines ook in de Leuvense cleanrooms geplaatst. Afgelopen lente werd de NXE:3100 pre-productie machine geleverd, waarop momenteel productieproeven worden gedaan.

ASML heeft sinds zijn oprichting in 1984 een nauwe band met Imec, zegt technologietopman Martin van den Brink van ASML. "Ons partnerschap heeft onze gezamenlijke klanten steeds een vroeg inzicht gegeven in nieuwe chiptechnologieën. Hiermee werd voor alle deelnemers de weg naar marktleiderschap en commercieel succes bereid. We zijn blij ons te verbinden aan het volgend niveau van samenwerking als we overgaan naar EUV technologie en de bijbehorende mogelijkheden chipdetails te verkleinen."

Een woordvoerder van ASML wil over de details van de overeenkomst niets kwijt. "Het is duidelijk dat Imec geen gewone klant van ons is. Veel van onze klanten zijn bij Imec aangesloten en helpen mee aan het onderzoek daar. Daar hebben we voordeel van. Van de andere kant zijn de machines erg duur en hebben we speciale regelingen getroffen, waarover ik verder niet kan uitwijden."

Imec heeft sensoren ontwikkeld die ingezet kunnen worden in de nieuwste EUV machines van ASML. De sensoren, in combinatie met bijbehorende chips, zorgen er onder meer voor dat de beelden op de chipschijven exacter worden gepositioneerd. Dit is belangrijk om meerdere lagen van de chip goed op elkaar aan te laten sluiten.

>> Meer over Imec en de betekenis voor ASML in ed.nl/techblog

Meer Economie

• 13:02 Management koopt B&G Hekwerk
• 11:37 Mibra kantoormeubelen failliet
• 13:59 Helmond aantrekkelijker ondanks crisis
• di 22-05 Resultaten Vion staan onder druk
• di 22-05 Philips sluit meer snijden niet uit
• di 22-05 Overaanbod bedrijventerreinen in regio
• di 22-05 Eindhovenaren ontwerpen 'aaibare lamp'
• di 22-05 Heijmans verkoopt Bestcon prefabbeton
• ma 21-05 'Lente-akkoord rampzalig voor bouw'
• zo 20-05 D66: werkweek langer, minder loonbelasting

Reageren

Naam: E-mail: Reactie:

Forumregels

De website van het ED is een platform voor discussie. Lezers wordt de gelegenheid geboden om in forums te reageren op geselecteerde artikelen, commentaren en columns. Scherpe en kritische reacties dragen bij aan het debat. Om de discussie in goede banen te leiden, gelden de volgende spelregels:

1. Elke reactie wordt vooraf door de redactie beoordeeld. De redactie heeft het recht om zonder verdere toelichting bijdragen te weigeren, te bewerken of in te korten.

2. Reacties moeten kort en bondig zijn (maximaal 250 woorden), leesbaar en begrijpelijk zijn en inhoudelijk betrekking hebben op het onderwerp van het betreffende artikel.

3. Voor de discussie gelden elementaire fatsoensnormen. Schuttingtaal en scheldwoorden zijn niet toegestaan.

4. Reacties die beledigend of discriminerend zijn, (oncontroleerbare) beschuldigingen, bedreigingen bevatten of oproepen tot haat of geweld worden niet geplaatst.

5. Reacties mogen geen privégegevens van derden bevatten.

6. Reacties die anoniem zijn of onder een valse naam worden ingestuurd, kunnen worden geweigerd.

7. Reacties mogen geen auteursrechten overtreden en geen commerciële boodschappen bevatten.

8. Het ED staat open voor kritiek – zowel positief als negatief – op de krant en op haar redacteuren. Correcties en aanvullingen op artikelen zijn welkom. Inhoudsloze kritiek wordt niet geplaatst.

9. Het IP-adres vanwaar wordt gereageerd wordt altijd vastgelegd.

10. Reacties, of citaten daaruit, mogen worden gebruikt op alle publicaties van het ED (websites, krant, sociale media, enz.).

De redactie is niet kinderachtig. Laat u dus niet ontmoedigen door de spelregels. Ze zijn uitsluitend bedoeld om een goede discussie te bevorderen. De redactie gaat zorgvuldig te werk. Mocht u desondanks reacties op de website ontdekken die in strijd zijn met de spelregels of anderszins niet door de beugel kunnen, laat ons dat dan weten via e-mail.