Eric Meurice toont het publiek een dia met een kind dat een iPad gebruikt. "We hopen dat dit kind in zijn leven net zo gek zal zijn als zijn ouders en evenveel elektronica gaat kopen, ook al is die filosofisch gesproken van geen waarde." foto Jurriaan Balke
De komende jaren worden er miljarden euro's gestoken in de ontwikkeling van de zogeheten 450 millimeter technologie. De naam slaat op de omvang van een silicium schijf waarop klanten van ASML chips belichten. Dat gebeurt nu nog op schijven met een diameter van 30o millimeter, maar deze moet in 2018 naar 450 millimeter.
Het is voor het eerst dat Meurice een jaartal koppelt aan deze technologie. "Onze klanten willen naar een grotere chipschijf, want groter is goedkoper. Als de diameter wordt vergroot van 30 naar 45 centimeter kunnen ze 10 procent efficiënter produceren. Het oppervlak is dan meer dan twee keer zo groot en er kunnen dan dus veel meer chips op. Bovendien hoeft minder vaak van schijf te worden gewisseld terwijl de machine langere rijen chips achter elkaar kan belichten."
Meurice gaf inzicht in de enorme bedragen die ASML tot nog toe heeft geïnvesteerd in de ontwikkeling van diverse technologieën. Voor de NXT-immersietechnologie, dat momenteel voor de omzet zorgt, staat de teller op 600 miljoen euro. Hierin blijft ASML grote bedragen steken om ervoor te zorgen dat deze machines steeds weer kleinere details kunnen maken. In de toekomstige EUV-technologie heeft ASML al twee miljard euro gestoken. De eerste zes zogenaamde preproductie-machines van dat type zijn dit jaar geleverd. Vanaf midden volgend jaar worden de eerste tien productiemachines geleverd. Bij de dia met de investering in de 450 millimeter technologie heeft Meurice bij het bedrag een vraagteken geplaatst. "We weten het niet exact, maar dat er de komende jaren miljarden in moet worden geïnvesteerd is duidelijk. De omvang van onze machines is voldoende, maar de module die de chipschijven vast pakt en met grote precisie onder de lens houdt, die moet opnieuw ontwikkeld worden."
Meurice gaf het talrijk op het technologiecongres van het blad Bits & Chips afgekomen publiek een inkijkje in de problemen. "Zolang onze nieuwe EUV-machines niet operationeel zijn, moeten we met de bestaande technologie verder. Maar het licht dat we in deze machines gebruiken kent zijn beperkingen. Een vierkantje op de dia wordt soms een cirkeltje op de chip. We zoeken steeds naar middelen om dat soort fouten te corrigeren, maar een keer houdt het op. We hopen dat dan de machines met het veel fijnere EUV-licht ingezet kunnen worden."
Meurice verzekerde dat ASML andere technologieën om chips te belichten nauwlettend in de gaten houdt. "Ook systemen met elektronenbundels in plaats van licht, zoals Mapper in Delft heeft. We hebben geregeld contact met dat bedrijf, maar zijn er van overtuigd dat het doorontwikkelen van deze technologie nog complexer zou zijn dan de EUV-technologie."
ed.nl/techblog: Omschakelen naar 450 mm wordt megaklus
© Eindhovens Dagblad 2012, op dit artikel rust copyright.
