VELDHOVEN - ASML levert zijn honderdste Twinscan Immersie systeem af van de
XT 1900 serie. Dat heeft het bedrijf maandag meegedeeld.
Met deze apparaten kunnen chips gemaakt worden met details vanaf 38
nanometer (miljoenste millimeter). Dit maakt de productie van bijvoorbeeld
geheugenchips van vier Gigabyte mogelijk. Als ook de XT 1700 wordt
meegeteld, die chipdetails vanaf 60 nanometer mogelijk maakt, dan staat de
teller op 160.
Het bedrijf meldt dat van de top 20 chipfabrikanten
in de wereld er 18 gebruik maken van deze machines. Van de opvolger van de
XT-serie, de NXT 1950i, zijn er inmiddels vijf afgeleverd. Dit absolute
topmodel kan details vanaf 22 nanometer produceren. In de orderportefeuille
zitten nog eens 17 bestellingen van deze machine.
ASML meldde
maaandag ook dat het een EUV-machine levert aan chipproducent TSMC in
Taiwan. Van dit model chipmachine van de volgende generatie heeft ASML er
zes (á circa 60 miljoen euro) verkocht. Het zijn machines om eerst
productietests op te doen om ze in 2012 als productiemachine in gebruik te
nemen. Er kunnen straks chips met details vanaf 12 nanometer mee worden
geproduceerd.
