De NXT:1950i, laserlicht gaat via de reticle (dia) bovenin, door de lenzenkolom naar de chipschijf onder.
VELDHOVEN - ASML heeft drie nieuwe opties op zijn topmodel chipmachine uitgebracht. Hiermee kan deze machine, de NXT:1950i, stappen naar nog kleinere details op de te produceren chips makkelijker maken.
Volgens het bedrijf zijn de opties nodig om met dit model de overstap van details van 45 of 32 nanometer (miljoenste millimeter) naar 22 nanometer accuraat te maken.
ASML levert de nieuwe technologieën als opties bij nieuwe machines of als upgrade van de tachtig machines van dit type (circa 45 miljoen euro per stuk) die ASML al geleverd heeft. Ze zijn een aanvulling op het optiepakket onder de naam Holistische Lythografie dat het bedrijf sinds twee jaar op de markt brengt. Het gaat veelal om technologie die is ontwikkeld in de Amerikaanse vestiging van ASML. Dat is het in 2006 overgenomen bedrijf Brion in Santa Clara in California in de VS.
De opties die ASML zijn klanten nu biedt verschijnen onder de namen FlexWave, Reticle Control en PEP. In beide gevallen wordt er een extra apparaat aan de machine toegevoegd, dat wordt aangestuurd door speciale software. Ze zijn bedoeld om details op de chip nog scherper te belichten en om ervoor te zorgen dat de verschillende laagjes nog beter passend op elkaar worden aangebracht. Bij Flexwave wordt een filter in de lens ingebouwd dat de lichtgolven beïnvloedt. Het apparaat reduceert op deze manier afwijkingen in de lenzen en effecten die ontstaan door opwarming ervan. Bij de Reticle Control wordt met zeer gevoelige sensoren het temperatuurverloop op de reticle – een soort dia waarop het voorbeeld van de chip staat – gemeten en met software voorspeld. Deze informatie wordt gebruikt om de positionering van de chipschijf onder de lens waar nodig aan te passen. PEP tot slot is bestemd voor het versnellen van de machine. Door verbeteringen aan zowel hard- als software lukt het de snelheid te verhogen van 175 naar 200 chipschijven per uur. Een chipschijf is een dunne silicium schijf met een doorsnede van 30 centimeter. Hierop worden de chips, laag voor laag, belicht.
Met de nieuwe voorzieningen kan de NXT:1950i nog even mee in de race naar kleinere details op chips. De opvolger, de EUV-machine NXE 3100, wordt zo nog even uit de wind gehouden. Daarvan produceert ASML momenteel de laatste van zes proefmachines. Bij Imec in het Belgische Leuven, waar de eerste van deze serie werd geplaatst, wordt er al mee proefgedraaid. Het onderzoeksinstituut haalt momenteel echter nog hooguit een snelheid van zes chipschijven per uur. Aan het eind van dit jaar moet volgens planning die snelheid worden vertienvoudigd. Maar of volgend jaar die snelheid kan worden verdubbeld naar 120 chipschijven per uur, is twijfelachtig. ASML heeft voor het productiemodel van deze EUV-machine al tien bestellingen (voor een prijs van circa 60 miljoen euro) binnen. De levering start volgend jaar.
© Eindhovens Dagblad 2012, op dit artikel rust copyright.
Sorteer reacties
