ASML krijgt hulp Japanse researchers

  woensdag 30 november 2011 | 10:10 | Laatst bijgewerkt op: donderdag 01 december 2011 | 11:07

Tekstgrootte tekst verkleinentekst vergroten
Een EUV demo-machine van ASML. In 2012 moet dit type voor productie kunnen worden ingezet.

Een EUV demo-machine van ASML. In 2012 moet dit type voor productie kunnen worden ingezet.

VELDHOVEN – ASML gaat zijn samenwerking met het Japanse Tokyo Elektron Limited (TEL) uitbreiden om het onderzoek naar de nieuwste EUV technologie te versterken.

Als tegenprestatie helpt ASML de Japanners bij het verder ontwikkelen van de nu gangbare immersie technologie.

TEL is een leverancier van machines die gebruikt worden bij de productie van chips en in dezelfde fabriek staan als die van ASML. Beide bedrijven werken al samen aan het onderzoek naar de fundamentele systemen op het gebied van EUV-technologie. Als uitbreiding hiervan gaan de Japanners een zogenaamde coater/developer plaatsen in de laboratoria van ASML.

In ruil hiervoor gaat ASML in de laboratoria van TEL in Kumamoto in Japan een immersie belichter plaatsen. Het Japanse bedrijf gaat hiermee werken aan het verbeteren van de processen rondom de machine om de productiviteit ervan de vergroten. Het doel is hierbij dat de machine meer dan 4.000 chipschijven per dag gaat belichten.


© Eindhovens Dagblad 2012, op dit artikel rust copyright.

Reageren

blij blozend boos cool verrast droevig egaal gemeen huilend vertwijfeld knipoog lachen rollendeogen tongeruit wijdogig

Forumregels


De website van het ED is een platform voor discussie. Lezers wordt de gelegenheid geboden om in forums te reageren op geselecteerde artikelen, commentaren en columns. Scherpe en kritische reacties dragen bij aan het debat. Om de discussie in goede banen te leiden, gelden de volgende spelregels:


1. Elke reactie wordt vooraf door de redactie beoordeeld. De redactie heeft het recht om zonder verdere toelichting bijdragen te weigeren, te bewerken of in te korten.

2. Reacties moeten kort en bondig zijn (maximaal 250 woorden), leesbaar en begrijpelijk zijn en inhoudelijk betrekking hebben op het onderwerp van het betreffende artikel.

3. Voor de discussie gelden elementaire fatsoensnormen. Schuttingtaal en scheldwoorden zijn niet toegestaan.

4. Reacties die beledigend of discriminerend zijn, (oncontroleerbare) beschuldigingen, bedreigingen bevatten of oproepen tot haat of geweld worden niet geplaatst.

5. Reacties mogen geen privégegevens van derden bevatten.

6. Reacties die anoniem zijn of onder een valse naam worden ingestuurd, kunnen worden geweigerd.

7. Reacties mogen geen auteursrechten overtreden en geen commerciële boodschappen bevatten.

8. Het ED staat open voor kritiek – zowel positief als negatief – op de krant en op haar redacteuren. Correcties en aanvullingen op artikelen zijn welkom. Inhoudsloze kritiek wordt niet geplaatst.

9. Het IP-adres vanwaar wordt gereageerd wordt altijd vastgelegd.

10. Reacties, of citaten daaruit, mogen worden gebruikt op alle publicaties van het ED (websites, krant, sociale media, enz.).


De redactie is niet kinderachtig. Laat u dus niet ontmoedigen door de spelregels. Ze zijn uitsluitend bedoeld om een goede discussie te bevorderen. De redactie gaat zorgvuldig te werk. Mocht u desondanks reacties op de website ontdekken die in strijd zijn met de spelregels of anderszins niet door de beugel kunnen, laat ons dat dan weten via e-mail.