Ruim een half miljard euro heeft ASML geïnvesteerd in de duurst denkbare werkplaats. Daarvoor heeft de Veldhovense chipmachinefabrikant 23 cabines laten bouwen waarin EUV-machines kunnen worden opgebouwd. Bestuurder Frederic Schneider-Maunoury, Chief Operating Officer ofwel baas van de fabricage, opende gisteren voor een gehoor van journalisten uit het hele land de nieuwe accommodatie. "Deze is het resultaat van een evolutie. Dezelfde evolutie die onze machines doormaken heeft de werkruimte waar ze geproduceerd kunnen worden ook doorgemaakt. Met deze ultramoderne werkplaats kunnen we de opgave waarvoor we staan als het gaat om de productie van EUVmachines aan."

Schneider-Maunoury legde uit dat de EUV-technologie is ontwikkeld om de structuren op een chip kleiner te kunnen blijven maken. "De eerste machines die ASML bouwde zijn zo groot als een kopieermachine. Hoe kleiner deze machines structuren op een chip kunnen vormen, hoe groter ze moeten zijn. De EUV-machine is dan ook een enorm gevaarte waarvoor we deze omvangrijke productieruimten nodig hebben."