Volledig scherm
Medewerkers van ASML schuiven een ingepakt deel van de machine in een speciale container. archieffoto © Fotopersburo van de Meulenhof BV

Logistiek centrum voor ASML in Veldhoven wordt complex geheel

VELDHOVEN - Dat het bij een logistiek centrum voor ASML niet simpelweg gaat om een hal met stellingen mag duidelijk zijn. In de nieuw te bouwen voorziening zoeken onderdelen hun weg naar machines en machines hun weg naar de uitgang.

Een ontwerp van het nieuw te bouwen logistiek centrum van ASML is er nog niet. Directeur vastgoed Teun Wartenbergh van ASML kan daarom geen details geven. "We weten dat het een gebouw van 30.000 tot 40.000 vierkante meter moet zijn, waarin we al onze logistiek kwijt kunnen. Voor een groot deel bestaat het uit stofvrije ruimtes voor uitpakken, ompakken en inpakken. De machines worden groter, zwaarder en vooral kritischer. Daarom hebben we echt een gelijkvloerse ruimte nodig." 

Tunnel
Vorige week werd bekend dat ASML de gemeente Veldhoven vraagt of een dergelijke logistieke ruimte op een deel van de Runstraat mag. Hierdoor zou een deel van deze straat en een tunnel onder de A67 komen te vervallen, met de nodige gevolgen voor buurtbewoners.

ASML maakt zelf geen onderdelen, maar zet ze in elkaar. Bij de chipmachinefabrikant komt dagelijks een grote hoeveelheid onderdelen en modules vanuit de regio en de hele wereld binnen. Die moeten hun weg vinden naar de juiste stofvrije productieruimtes in het fabriekscomplex. Tegelijk is er een tegengestelde stroom van chipmachines die verpakt moeten worden en verstuurd naar klanten.

Toenemende stromen
De verwachting is dat deze stromen goederen enorm zullen toenemen. De productie van de meest moderne machine komt op gang. Deze is nog groter in omvang en aantal onderdelen dan de machines waarvan er nu al zo'n 150 per jaar gemaakt worden. De nieuwe machines meten 3,4 bij 8,3 bij 3,2 meter en er zullen er tegen 2020 zo'n vijftig per jaar worden gemaakt. ASML komt na 2020 met een nieuwe nog grotere versie.

De onderdelen en modules, gemaakt in stofvrije ruimtes, zijn hermetisch verpakt. Het uitpakwerk moet zeer zorgvuldig gebeuren. Het kan nodig zijn onderdelen tijdelijk op te slaan. Het logistiek centrum wordt zo ingericht dat de onderdelen efficiënt bij de juiste op te bouwen machines terecht komen. Het is gepland in het verlengde van een enorme gang, die als slagader voor de cleanrooms van ASML dient.

Transport
Tegen de stroom onderdelen in moeten de machines die klaar zijn naar de uitgang worden gedirigeerd. De machine wordt eerst in de transportstand gezet, waarbij bewegende delen worden gezekerd. Dan worden zes grote delen, zoals de waferstage en de lichtbron, gedemonteerd. Het basisframe, inclusief kabelbomen, buizen, slangen en panelen, vormt de grootste massa. Met UV-lampen worden de laatste stofdeeltjes gezocht en met een speciale stofzuiger verwijderd.

Het verpakken gebeurt in twee lagen. In de holle ruimten wordt de lucht vervangen door schoon stikstofgas. De machinedelen, die tot acht ton wegen, staan op geveerde plateaus, die op persluchtkussens kunnen worden voortbewogen. Ze zijn daardoor makkelijk met mensenhanden in de speciale containers met luchtbehandeling te schuiven. Klaar voor de reis.