Volledig scherm
De EUV machine meet 8,3 bij 3,4 meter. Op de achtergrond een schets van de veel grotere EUV machine zoals die na 2020 gebouwd gaat worden. © ASML

Volgende generatie chipmachine van ASML in Veldhoven stuk groter

EINDHOVEN - De nieuwste chipmachine die ASML na 2020 uitbrengt wordt in volume bijna twee keer zo groot als de machines die werken met extreem ultraviolet (EUV) licht die nu worden geproduceerd. Dat blijkt uit een presentatie die ASML gaf tijdens de SPIE lithografie conferentie in San Jose in de Verenigde Staten, die donderdag eindigde.

Uit de presentatie van ASML blijkt de stelling te kloppen dat hoe kleiner de details op een chip moeten worden, hoe groter de machine daarvoor moet zijn. De huidige EUV machines zijn 3,4 meter hoog, 8.3 meter lang en 3,2 meter diep. De ontwikkelaars bij ASML werken aan een machine voor na 2020 die bijna vijf bij vijftien meter in omvang wordt. Dat betekent dat ook de toeleveranciers zich moeten voorbereiden op het maken van meer en grotere onderdelen.

ASML startte onlangs met de productie van EUV machines waarmee chipfabrikanten de vernieuwing van chips weer enkele jaren kunnen doorzetten. Omdat deze nog kleinere details op chips kunnen belichten verbeteren deze chips de werking van mobiele telefoons en computers waar ze zijn ingebouwd. Tijdens de SPIE conferentie dit jaar is voor het eerst zeker dat ten minste Intel, TSMC en Samsung met de EUV-technologie gaan produceren.

125 chipschijven per uur
Dat zorgde voor optimistische geluiden op de SPIE, van onder meer topman Peter Wennink. In een interview met Morgan Stanley naar aanleiding van de SPIE zei hij onder meer dat de snelheid van de machines zich goed ontwikkelt. "Bij enkele klanten hebben we deze week een snelheid van 104 chipschijven (met ieder honderden chips, red.) per uur bereikt. Met de nieuwe machine komt die snelheid op 125 chipschijven per uur, waarbij de machine 90 procent van de tijd kan draaien. Dat komt dus neer op een productie van meer dan 2000 chipschijven per dag, ruim boven de nodige snelheid van 1500 om rendabel te kunnen produceren."

Wennink zei dat behalve producenten van rekenchips ook geheugenchips met EUV gemaakt gaan worden. "Vooral naar dram geheugenchips is momenteel veel vraag. Een grote klant wil EUV technologie gebruiken naast de vertrouwde DUV technologie om geheugens met details van 16 nanometer (miljoenste millimeter, red.) te maken. Deze klant zegt later bij 13 nanometer helemaal op EUV over te schakelen."

Pellicle
Op de SPIE was ook ruimte voor sceptische geluiden. Onder meer Chris Mack van Fractilia zei dat er nog veel aannames zijn. Dit bedrijf maakt software om de ruwheid van de belichte details op een chip te verbeteren. Ook de zogeheten pellicle, een dun vlies in de machine die het masker (de dia) moet beschermen tegen vervuilingen, zou nog niet klaar zijn. "Zo zijn er meer onderdelen die nog klaar gemaakt moeten worden voordat de machines straks gaan draaien. Er hoeft er daarvan maar één achter te blijven om de hele zaak opnieuw te vertragen."