Nieuwste machine van ASML gaat 200 miljoen euro kosten

Wennink zegt dat de belangrijkste klanten van ASML de nieuwste technologie ondersteunen. De machines zijn veel groter dan de bestaande, maar er kunnen kleinere chipdetails mee worden gevormd.

ASML verwacht in het lopende kwartaal 350 miljoen euro uit te geven voor haar activiteiten op het gebied van onderzoek en ontwikkeling (R&D). Dat is veel meer dan de circa 315 miljoen euro die vorig jaar nog ieder kwartaal hieraan werd gespendeerd. Terwijl de 1,26 miljard euro in 2017 ook al een flinke stijging was ten opzichte van de 1,1 miljard euro een jaar eerder.

Dat die uitgaven de laatste jaren zo zijn gegroeid, komt volgens een woordvoerder van ASML doordat op een aantal R&D-gebieden tegelijk gewerkt moet worden. Allereerst moet die afdeling de dagelijkse productie van chipmachines en service en opties van ASML ondersteunen. Bovendien zijn de ingenieurs die chipmachines met extreem ultraviolet (EUV) licht ontwikkelen nog niet klaar. Ook kost het inpassen van de meetmachines van het overgenomen HMI in Taiwan veel ingenieurs de nodig hoofdbrekens.

Daar bovenop komt sinds anderhalf jaar de ontwikkeling van de opvolger van de EUV-technologie. Deze wordt aangeduid met de term Hoog NA (numerieke apertuur). Hiervoor is een grote R&D-afdeling in Veldhoven actief en financiert ASML onderzoek bij lenzenmaker Carl Zeiss in Duitsland, voor een kwart eigendom van ASML. Ook worden er onderzoeksopdrachten uitbesteed.

De Hoog NA-technologie heeft als basis de EUV-technologie, maar moet wel in een nieuwe, veel grotere machine worden ingebouwd. Het resultaat van de nieuwe techniek is nog kleinere details op een chip en dus nog meer functionaliteit hiervan.

Topman Peter Wennink zei dat over deze nieuw te ontwikkelen machine al volop met klanten wordt gesproken. "Onze belangrijkste klanten hebben gezegd de Hoge NA technologie technisch en economisch reëel te vinden. We spreken nu met ze af hoe en wanneer we de eerste machines leveren waarop hun R&D-afdelingen kunnen experimenteren en hoe snel daarna we de machines leveren die voor de productie worden ingezet."

Wennink denkt halverwege het volgende decennium te kunnen starten met het leveren van machines voor de productie. "Let wel, behalve de lichtbron is de Hoge NA een compleet nieuwe machine, met een prijskaartje van zoals we er nu tegenaan kijken ruim 200 miljoen euro. We communiceren nu al de grotere afmetingen van de nieuwe machine met onze klanten, zodat ze hier op tijd rekening mee kunnen houden."