ASML ging met ‘paar handvol Philips octrooien’ in Veldhoven van start

Dat brengt het gesprek op het gevoelige onderwerp van de immersie technologie: is het nou een Japanse of een Nederlandse uitvinding? „Geen van beiden.” Van Hoef is zo wijs het idee om een dun laagje water te gebruiken bij het belichten van chips zich niet toe te eigenen. „Immersie is al heel oud. Op de middelbare school leerden we dat een druppeltje water door een andere lichtbreking het beeld onder een microscoop verbetert. Wij hebben voor het eerst dit principe succesvol toegepast in een chipmachine.”