Een EUV machine van ASML in opbouw.
Volledig scherm
PREMIUM
Een EUV machine van ASML in opbouw. © ASML / Bart van Overbeeke

Belgisch Imec helpt ASML met opvolger van EUV machine

LEUVEN/VELDHOVEN - Om de opvolger van de EUV machine van ASML vanaf 2022 een goede start te geven doet Imec in Leuven samen met ASML tests op een EUV machine. Ze melden een chip te hebben gemaakt, die overeenkomt met toekomstige chips met details van 3 nanometer.

Het ontwerp van de EUV High NA machine (achtergrond) afgezet tegen een EUV machine.
Volledig scherm
Het ontwerp van de EUV High NA machine (achtergrond) afgezet tegen een EUV machine. © ASML

Het gaat om de zogeheten EUV (extreem ultraviolet) High NA (hoge numerieke apertuur) machine. Deze opvolger van de EUV-machine, die sinds vorig jaar bij klanten van ASML chips produceert, wordt momenteel bij ASML ontwikkeld. Vanaf 2022 worden de eerste EUV High NA machines vanuit Veldhoven geleverd om er klanten mee te laten proefdraaien en vanaf 2024 worden ze ingezet voor productie.

Tijdens de Spie Lithografie Conferentie deze week in San Jose in Californië presenteren Imec en ASML resultaten van onderzoek naar EUV High NA. Omdat een dergelijke machine, die meer dan twee keer zo groot is als een gewone EUV machine, nog niet voorhanden is zijn de tests gedaan op een gewone EUV machine in de cleanrooms van het Belgische onderzoeksinstituut. Door gebruik te maken van speciale belichtingsschema's, nieuw ontwikkelde fotogevoelige lak en een geoptimaliseerde afstelling van de machine werd het resultaat bereikt, zo melden de deskundigen van Imec en ASML.