Lichtgewicht ‘vliegend tapijt’ maakt chipmachine van ASML nóg beter

Het is niet overdreven om de wafertafel in de chipmachine van ASML een vliegend tapijt te noemen. Het is namelijk een zwevend plateau dat op een magnetisch veld razendsnel beweegt. Op dat plateau legt een robot bij iedere ronde een wafer. Dat is een silicium schijf waarop het patroon van een chip dankzij die bewegingen honderden keren wordt belicht. En dat met een precisie van een tienduizendste van de dikte van een haar.